ionized cluster beam deposition クラスタ堆積
クラスタイオンビームを用いた蒸着は、1粒子あたりのエネルギーが小さいため、
ダメージが小さく、高速で高密度の膜ができ、基板との密着性もよいといわれています。
ここでは、単一のクラスタと基板の衝突イベントをシミュレートします。
(実際には、クラスタは数千原子からなり、数kV程度の加速電圧が用いられます。)

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