(36) cryo pump クライオポンプ ver 0.0.2
クライオポンプとは、低温にした面に分子を吸着し、排気する真空ポンプです。吸着面(クライオ面)が
80Kくらいでは、少し残圧が残りますが、液体ヘリウム温度(<10K)にすると、吸着面に多層に吸着し、
良い真空が得られます。 排気速度が大きく、クリーンな真空が必要なところに使われます。
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